Կիսահաղորդչային կեղծիքներում գազերը կատարում են ամբողջ աշխատանքը եւ լազերները ստանում են ամբողջ ուշադրությունը: Մինչ լազերները տրանզիստորի նախշերը են դնում սիլիկոն, որոնք առաջին անգամ սիլիկոնն են պահում եւ լազերները քանդում են, ամբողջական սխեմաներ պատրաստելու համար: Զարմանալի չէ, որ այս գազերը, որոնք օգտագործվում են միկրոպրոցեսորներ բազմաբնույթ գործընթացով զարգացնելու համար, բարձր մաքրության են: Այս սահմանափակությունից բացի, նրանցից շատերը ունեն այլ մտահոգություններ եւ սահմանափակումներ: Գազօջախներից ոմանք կրեոգենիկ են, մյուսները քայքայիչ են, եւ դեռ մյուսները խիստ թունավոր են:
Ընդհանուր առմամբ, այս սահմանափակումները կիսահաղորդչային արդյունաբերության համար պատրաստում են արտադրություն գազի բաշխիչ համակարգեր, զգալի մարտահրավեր: Նյութական բնութագրերը պահանջկոտ են: Բացի նյութական բնութագրերից, գազի բաշխման զանգվածը փոխկապակցված համակարգերի բարդ էլեկտրամեխանիկական զանգված է: Այն միջավայրերը, որոնցում հավաքվում են, բարդ եւ համընկնում են: Վերջնական կեղծիքը կայքում տեղի է ունենում որպես տեղադրման գործընթացի մաս: Orbital եռակցումը օգնում է բավարարել գազի բաշխման բարձր ճշգրտման պահանջները `ամուր եւ դժվար միջավայրում կեղծիքներ պատրաստելիս ավելի կառավարելի:
Ինչպես են օգտագործվում գազերը կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ
Գազի բաշխման համակարգի արտադրությունը պլանավորելուց առաջ անհրաժեշտ է հասկանալ առնվազն կիսահաղորդչային արտադրության հիմունքները: Իր հիմնական հիմքում, կիսահաղորդիչները օգտագործում են գազեր `բարձրակարգ ձեւով մակերեսի վրա մոտ տարրական պինդ նյութերը պահելու համար: Այս պահուստավորված պինդ նյութերը փոփոխվում են `ներկայացնելով լրացուցիչ գազեր, լազերներ, քիմիական տեսարաններ եւ ջերմություն: Լայն գործընթացում քայլերը հետեւյալն են.
Սահմանում. Սա է նախնական սիլիկոնային վաֆլի ստեղծման գործընթացը: Սիլիկոնային նախադրյալ գազերը մղվում են վակուումային ավանդի պալատի մեջ եւ քիմիական կամ ֆիզիկական փոխազդեցություններով բարակ սիլիկոնային վաֆներ են ձեւավորում:
Ֆոտոլիտոգրաֆիա. Լուսանկարների բաժինը վերաբերում է լազերներին: Ավելի բարձր ծայրահեղ ուլտրամանուշակագույն լիտոգրաֆիայի (EUV) սպեկտրը, որն օգտագործվում է ամենաբարձր ճշգրտման չիպերը, ածխաթթու գազի լազերն օգտագործվում է միկրոպրոցեսորային սխեման `վաֆլի մեջ:
Etching. Etching- ի ընթացքում հալոգեն-ածխածնային գազը մղվում է պալատ `սիլիկոնային ենթաշերտում ընտրված նյութերը ակտիվացնելու եւ լուծարելու համար: Այս գործընթացը արդյունավետորեն փորագրում է լազերային տպված միացումը ենթաշերտի վրա:
Դոպինգ. Սա լրացուցիչ քայլ է, որը փոխում է փորագրված մակերեսի հաղորդունակությունը `որոշելու այն ճշգրիտ պայմանները, որոնց տակ անցկացնում են կիսահաղորդիչը:
Օծալավորում. Այս գործընթացում, վաֆլի շերտերի միջեւ ռեակցիաները առաջ են բերվում բարձր ճնշմամբ եւ ջերմաստիճանով: Ըստ էության, այն վերջացնում է նախորդ գործընթացի արդյունքները եւ վերջնական պրոցեսոր է ստեղծում վահանակի մեջ:
Պալատ եւ գծի մաքրում. Նախորդ քայլերում օգտագործված գազերը, հատկապես փորագրումը եւ դոպինգը, հաճախ խիստ թունավոր եւ ռեակտիվ են: Հետեւաբար, գործընթացի պալատը եւ գազի գծերը պետք է լցվեն չեզոքացնող գազերով `վնասակար ռեակցիաները նվազեցնելու կամ վերացնելու համար, այնուհետեւ լցված են իներտ գազերով, որպեսզի կանխեն արտաքին միջավայրից որեւէ աղտոտող գազերի ներխուժումը:
Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ գազի բաշխման համակարգերը հաճախ բարդ են ներգրավված շատ տարբեր գազերի եւ գազի հոսքի, ջերմաստիճանի եւ ճնշման խստագույն վերահսկողության պատճառով, որը պետք է պահպանվի ժամանակի ընթացքում: Սա ավելի բարդ է գործընթացում յուրաքանչյուր գազի համար անհրաժեշտ ծայրահեղ բարձր մաքրությամբ: Նախորդ քայլում օգտագործված գազերը պետք է թափվեն տողերից եւ պալատներից կամ այլ կերպ չեզոքացվեն նախքան գործընթացի հաջորդ քայլը սկսելը: Սա նշանակում է, որ կան մեծ թվով մասնագիտացված տողեր, եռակցված խողովակների համակարգերի եւ գուլպաների միջերեսներ, գուլպաների եւ խողովակների եւ գազի կարգավորիչների եւ սենսորների միջեւ ինտերֆեյսերը, ինչպես նաեւ փոխվել է բնական գազի մատակարարման բոլորի միջեւ:
Բացի այդ, մաքուր սենյականոց արտաքին եւ մասնագիտացված գազերը հագեցած կլինեն գազի մատակարարման զանգվածային համակարգերով մաքուր սենյակային միջավայրում եւ մասնագիտացված սահմանափակ տարածքներ `պատահական արտահոսքի դեպքում ցանկացած վտանգ մեղմելու համար: Այս գազի համակարգերը եռակցելը նման բարդ միջավայրում հեշտ գործ չէ: Այնուամենայնիվ, խնամքով, մանրուքներին եւ ճիշտ սարքավորումներին ուշադրություն դարձնելով, այս խնդիրը կարող է հաջողությամբ իրականացվել:
Կիսահաղորդչային արդյունաբերության ոլորտում գազի բաշխման համակարգերի արտադրություն
Կիսահաղորդչային գազի բաշխման համակարգերում օգտագործվող նյութերը խիստ փոփոխական են: Դրանք կարող են ներառել PTFE- կնճռոտ մետաղական խողովակների եւ գուլպաների նման իրեր, որոնք դիմադրում են խիստ քայքայիչ գազերին: Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ ընդհանուր օգտագործման խողովակաշարերի համար օգտագործվող ամենատարածված նյութը 316 լ չժանգոտվող պողպատ է `ցածր ածխածնի չժանգոտվող պողպատե տարբերակ: Երբ հասավ 316 լ ընդդեմ 316-ի, 316 լ ավելի դիմացկուն է միջգերատեսչական կոռոզիայից: Սա կարեւոր ուշադրություն է, երբ գործ ունեք մի շարք խիստ ռեակտիվ եւ հնարավոր անկայուն գազերի հետ, որոնք կարող են կոռե ածխածնի կոռոմբոնտաժել: 316 լ չժանգոտվող պողպատից ազատում է ավելի քիչ ածխածնի տեղադրում: Այն նաեւ նվազեցնում է հացահատիկի սահմանային էրոզիայի ներուժը, որը կարող է հանգեցնել կոռոզիայից զոդման եւ ջերմության տուժած գոտիներում:
Նվազեցնելու համար խողովակաշարային կոռոզիայի հնարավորությունը, որը տանում է արտադրանքի գծի կոռոզիենտ եւ աղտոտում, 316 լ չժանգոտվող պողպատ, զոդում է մաքուր արգոնով, որը պաշտպանում է գազի եւ վոլֆրամի գազի վահանով պատրաստված զոդման ռելսերը կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ ստանդարտ է: Միակ եռակցման գործընթացը, որն ապահովում է վերահսկողությունը, որն անհրաժեշտ է բարձր մաքրության միջավայրը `գործընթացը խողովակաշարով պահպանելու համար: Ավտոմատ ուղեծրային եռակցումը ապահովում է միայն կրկնվող գործընթացների վերահսկում, որը անհրաժեշտ է եռակցման մեջ `կիսահաղորդչային գազի բաշխման համակարգերի կեղծման մեջ: Այն փաստը, որ կցված ուղեծրային եռակցման գլուխները կարող են տեղավորել գործընթացի ոլորտների միջեւ բարդ խաչմերուկների բազմամարդ եւ դժվար տարածությունները `գործընթացի կարեւոր առավելությունն է:
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd- ն ունի ավելի քան 10 տարվա փորձ, կիսահաղորդչային, LED, DRAP եւ TFT-LCD շուկաների համար արդյունաբերական եւ մասնագիտացված գազերի եւ գազի արտանետումների մատակարարման մեջ, մենք կարող ենք ձեզ տրամադրել ձեր արտադրանքը արդյունաբերության առաջնագծում բերելու համար անհրաժեշտ նյութեր: Մենք չենք կարող տրամադրել միայն փականների եւ կցամասերի լայն տեսականի, կիսահաղորդիչ էլեկտրոնային մասնագիտացված գազերի համար, բայց նաեւ մեր հաճախորդների համար գազի խողովակների եւ սարքավորումների տեղադրում:
Փոստի ժամանակը, Jul-31-2023