Բարձր մաքրության գազի խողովակների տեխնոլոգիան բարձր մաքրության գազի մատակարարման համակարգի կարեւոր մասն է, որը հիմնական տեխնոլոգիան է `պահանջվող բարձր մաքրության գազը օգտագործման կետին հասցնելու եւ դեռեւս պահպանելու որակյալ որակը. Բարձր մաքրության գազի խողովակների տեխնոլոգիան ներառում է համակարգի ճիշտ ձեւավորում, կցամասեր եւ պարագաներ, շինարարություն եւ տեղադրում եւ փորձարկում: Վերջին տարիներին լայնածավալ ինտեգրված սխեմաներով ներկայացված միկրոէլեկտրոնիկային արտադրանքների արտադրության մեջ բարձր մաքրության գազերի մաքրության եւ կեղտաջրերի մաքրության եւ կեղտաջրերի բովանդակության զարգացման եւ անմաքրության բովանդակության վերաբերյալ ավելի ու ավելի խիստ պահանջները կազմել են բարձր մաքրության գազերի խողովակաշարային տեխնոլոգիան: Հետեւյալը նյութի ընտրությունից բուռն գազի խողովակների համառոտ ակնարկ էof շինարարություն, ինչպես նաեւ ընդունում եւ ամենօրյա կառավարում:
Ընդհանուր գազերի տեսակները
Ընդհանուր գազերի դասակարգում էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ:
Ընդհանուր գազերՈգելԲարձրագույն գազՊարագայումrogen րածին (ժ2), ազոտ (n2), թթվածին (օ2), Արգոն (ա2) եւ այլն:
Մասնագիտացված գազերsh4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Հլխոր,CF4 ,NH3,Փնթի3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Բլ3 ,Արծաթագործ4 ,CLF3 ,Կառք,C2F6, N2O,F2,Սամիթ,HBR SF6...... եւ այլն:
Հատուկ գազերի տեսակները, ընդհանուր առմամբ, կարող են դասակարգվել որպես քայքայիչգազ, Թունավորգազ, Դյուրավառգազ, այրվողգազ, իներտգազեւ այլն: Սովորաբար օգտագործված կիսահաղորդչային գազերը հիմնականում դասակարգվում են հետեւյալ կերպ:
(i) քայքայիչ / թունավորգազHCL, BF3, Wf6, HBR, SIH2Cl2, Nh3, PH3, Cl2, Bcl3... եւ այլն:
(ii) Դյուրավառությունգազ: Հ2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, sih2Cl2, Բ2H6, CH2F2,Կտրել3F, CO ... եւ այլն:
(iii) բոցավառությունգազ: Օ2, Cl2, N2O, nf3... եւ այլն
(IV) իներտգազ: N2, Cf4, Գ2F6, Գ4F8,Սվ6, CO2, Ne, kr, նա ... եւ այլն:
Շատ կիսահաղորդչային գազեր վնասակար են մարդու մարմնի համար: Մասնավորապես, այս գազերից մի քանիսը, ինչպիսիք են SIH- ը4 Ինքնաբուխ այրումը, քանի դեռ արտահոսքը բռնի կերպով կարձագանքի օդում թթվածնի հետ եւ կսկսի այրվել. եւ մոխիր3Բարձր թունավոր, ցանկացած փոքր արտահոսք կարող է առաջացնել մարդկային կյանքի ռիսկ, դա այս ակնհայտ վտանգների պատճառով է, ուստի համակարգի դիզայնի անվտանգության պահանջները հատկապես բարձր են:
Գազերի դիմումի շրջանակը
Որպես ժամանակակից արդյունաբերության կարեւոր հիմնական հումք, գազի արտադրանքը լայնորեն օգտագործվում է, եւ մեծ քանակությամբ ընդհանուր գազեր կամ հատուկ գազեր են օգտագործվում մետալուրգում, պողպատից, նավթային, քիմիական արդյունաբերության, մեքենաներ, էլեկտրոնիկայի, ապակու, կերամիկայի, շինանյութերի եւ բժշկական ոլորտներում: Գազի կիրառումը կարեւոր ազդեցություն է ունենում մասնավորապես այս ոլորտների բարձր տեխնոլոգիայի վրա եւ դրա անփոխարինելի հումքային գազի կամ գործընթացի գազն է: Միայն արդյունաբերական նոր ոլորտների եւ ժամանակակից գիտության եւ տեխնոլոգիաների կարիքներով եւ ժամանակակից գիտության եւ տեխնոլոգիաների կարիքներով, գազի արդյունաբերության արտադրանքը կարող է մշակվել թռիչքների եւ սահմանների միջոցով `բազմազանության, որակի եւ քանակի առումով:
Գազի դիմում միկրոէլեկտրոնիկայի եւ կիսահաղորդչային արդյունաբերության ոլորտում
Գազի օգտագործումը միշտ կարեւոր դեր է խաղացել կիսահաղորդչային գործընթացում, հատկապես կիսահաղորդչային գործընթացը լայնորեն կիրառվել է տարբեր արդյունաբերություններում, ավանդական ULSI- ից, TFT-LCD- ից ներկայիս միկրոէտտրոկ-մեխանիկական (MEMS) արդյունաբերության մեջ: Գազի մաքրությունը վճռական ազդեցություն է ունենում բաղադրիչների եւ արտադրանքի եկամտաբերության կատարման վրա, եւ գազի մատակարարման անվտանգությունը կապված է անձնակազմի առողջության եւ բույսերի գործունեության անվտանգության հետ:
Բարձր մաքրության խողովակաշարի նշանակությունը բարձր մաքրության գազի տրանսպորտում
Չժանգոտվող պողպատից հալման եւ նյութի մշակման գործընթացում պետք է ներծծվի մեկ տոննա: Չժանգոտվող պողպատից վերամշակվելուց հետո ոչ միայն դրա մակերեսը կպչուն է տարբեր աղտոտիչներով, բայց նաեւ իր մետաղական վանդակավոր վիճակում նույնպես կլանեց որոշակի քանակությամբ գազ: Երբ խողովակաշարի միջոցով կա օդային հոսք, մետաղը կլանում է գազի այս մասը, կրկին կմտնի օդային հոսքը, աղտոտելով մաքուր գազը: Երբ խողովակի մեջ օդը անջատում է, խողովակը ծածկում է ճնշման տակ գտնվող գազը, եւ երբ օդը դադարեցնում է անցնելը, խողովակի մեջ գտնվող գազը նույնպես մտնում է լուքի մեջ գտնվող ճնշման անկում: Միեւնույն ժամանակ, adsorption- ը եւ բանաձեւը կրկնվում են, այնպես որ խողովակի ներքին մակերեսի վրա մետաղը նույնպես արտադրում է որոշակի քանակությամբ փոշի, եւ այս մետաղական փոշու մասնիկները նաեւ աղտոտում են մաքուր գազը խողովակի մեջ: Խողովակի այս բնութագիրը անհրաժեշտ է տրանսպորտային գազի մաքրությունը ապահովելու համար, որը պահանջում է ոչ միայն խողովակի ներքին մակերեսի շատ բարձր հարթություն, այլեւ բարձր մաշված դիմադրություն:
Երբ օգտագործվում է ուժեղ քայքայիչ կատարմամբ գազը, խողովակաշարերի համար պետք է օգտագործվեն կոռոզիոն դիմացկուն չժանգոտվող պողպատից խողովակներ: Հակառակ դեպքում խողովակը կուրախացնի կոռոզիայից բծեր, կորոզիայի պատճառով, եւ լուրջ դեպքերում կլինեն մետաղական ժապավենի մեծ տարածք կամ նույնիսկ պերֆորացիա, որը կբաժանվի բաշխվելու համար:
Մեծ հոսքի տեմպերի բարձր մաքրության եւ բարձր մաքրության գազի փոխանցման եւ բաշխման խողովակաշարերի միացում:
Սկզբունքորեն, բոլորը եռակցվում են, եւ օգտագործված խողովակները պահանջվում են կազմակերպությունում փոփոխություն չունենալու դեպքում, երբ օգտագործվում է զոդում: Ածխածնի չափազանց բարձր պարունակությամբ նյութերը եռակցում են եռակցված մասերի օդի թափանցելիության վրա, որը եռակցում է խողովակի ներսում եւ դրսում գազերի փոխադարձ ներթափանցում եւ ոչնչացնում է փոխանցվող գազի մաքրությունը, չորությունը եւ մաքրությունը:
Ամփոփելով, բարձր մաքրության գազի եւ հատուկ գազի փոխանցման խողովակաշարի համար անհրաժեշտ է օգտագործել բարձր մաքրության չժանգոտվող պողպատե խողովակի հատուկ բուժում, բարձր մաքրության խողովակաշարերի, VMB, VMP) բարձր մաքրության գազի բաշխում:
Մաքուր տեխնոլոգիայի ընդհանուր հայեցակարգ փոխանցման եւ բաշխման խողովակաշարերի համար
Խողովակաշարով բարձր մաքուր եւ մաքուր գազի փոխանցումն է, որ գազի երեք ասպեկտների համար կան որոշակի պահանջներ կամ վերահսկում:
Գազի մաքրություն. Գազի մթնոլորտի բովանդակությունը ԳԳԱ-ի մաքրության մեջ. Գազի մեջ մաշվածության մթնոլորտի պարունակությունը, որը սովորաբար արտահայտվում է որպես գազի մաքրության տոկոս, ինչպես նաեւ 99.9999% -ը, ինչպես նաեւ կեղտաջրերի մթնոլորտային բովանդակության տոկոսադրույքը:
Չորություն. Գազի մեջ հետքի խոնավության քանակը կամ խոնավությունը կոչվող քանակությունը, որը սովորաբար արտահայտվում է ցողի կետի առումով, ինչպիսիք են մթնոլորտային ճնշման ցողի կետը `70: Գ.
Մաքուրություն. Գազի մեջ պարունակվող աղտոտող մասնիկների քանակը, մկնիկի մասնիկների չափը, քանի մասնիկ / մ 3 է արտահայտվել, սեղմված օդի համար, սովորաբար արտահայտվում է այնպիսի մգո / մ 3 անխուսափելի պինդ մնացորդների առումով:
Աղտոտող չափի դասակարգում. Աղտոտող մասնիկներ, հիմնականում վերաբերում են մետաղական մասնիկների, մթնոլորտային մոթի մասնիկների, մթնոլորտային մոթի մասնիկների, ինչպես նաեւ միկրոօրգանիզմների, ֆեներիզմի եւ խոնավության պարունակող գազի կոնդենսացիայի կաթիլներ
ա) մեծ մասնիկներ `մասնիկների չափը 5 մմ-ից բարձր
բ) մասնիկ - նյութական տրամագիծը 0,1 մ-ից 5 մուկմի միջեւ
գ) ուլտրա-միկրո մասնիկներ `մասնիկների չափը` 0,1 մմ-ից պակաս:
Այս տեխնոլոգիայի կիրառումը բարձրացնելու համար, որպեսզի կարողանանք ընկալել մասնիկների չափի եւ մկմ ստորաբաժանումների ընկալումը, հատուկ մասնիկների կարգավիճակի մի շարք տրամադրվում է հղման համար
Հետեւյալը հատուկ մասնիկների համեմատությունն է
| Անունը / մասնիկների չափը (մկմ) | Անունը / մասնիկների չափը (մկմ) | Անունը / մասնիկների չափը (մկմ)) |
| Վիրուս 0.003-0.0 | Աերոզոլ 0.03-1 | Աերոզոլիզացված միկրոդրոպլետ 1-12 |
| Միջուկային վառելիք 0.01-0.1 | Ներկ 0.1-6 | Թռչել մոխիր 1-200 |
| Ածխածնի սեւ 0.01-0.3 | Կաթի փոշի 0.1-10 | Թունաքիմիկատ 5-10 |
| Խեժ 0,01-1 | Բակտերիաներ 0.3-30 | Ցեմենտի փոշի 5-100 |
| Ծխախոտի ծուխ 0.01-1 | Ավազի փոշի 0.5-5 | Pollen 10-15 |
| Սիլիկոն 0.02-0.1 | Թունաքիմիկատ 0.5-10 | Մարդու մազերը 50-120 |
| Բյուրեղացված աղ 0.03-0.5 | Խտացված ծծմբի փոշին 1-11 | Ծովային ավազ 100-1200 |
Փոստի ժամանակը, JUN-14-2022