Բարձր մաքրության գազի խողովակաշարի տեխնոլոգիան բարձր մաքրության գազամատակարարման համակարգի կարևոր մասն է, որը անհրաժեշտ բարձր մաքրության գազը օգտագործման կետ հասցնելու և որակյալ որակը դեռ պահպանելու հիմնական տեխնոլոգիան է.Բարձր մաքրության գազի խողովակաշարի տեխնոլոգիան ներառում է համակարգի ճիշտ ձևավորում, կցամասերի և պարագաների ընտրություն, կառուցում և տեղադրում և փորձարկում:Վերջին տարիներին, միկրոէլեկտրոնիկայի արտադրանքի արտադրության մեջ բարձր մաքրության գազերի մաքրության և կեղտոտության պարունակության նկատմամբ խիստ պահանջները, որոնք ներկայացված են լայնածավալ ինտեգրալ սխեմաներով, ստիպել են բարձր մաքրության գազերի խողովակաշարի տեխնոլոգիան ավելի մտահոգված և ընդգծված:Ստորև ներկայացված է բարձր մաքրության գազի խողովակաշարերի հակիրճ ակնարկ՝ նյութերի ընտրությունիցof շինարարություն, ինչպես նաև ընդունում և ամենօրյա կառավարում։
Ընդհանուր գազերի տեսակները
Էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ տարածված գազերի դասակարգումը:
Ընդհանուր գազեր(Սորուն գազ）Ջրածին (H2)ազոտ (N2), թթվածին (Օ2), արգոն (Ա2), և այլն:
Մասնագիտացված գազերեն SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,ՀՖ,HBR SF6…… և այլն:
Հատուկ գազերի տեսակները ընդհանուր առմամբ կարելի է դասակարգել որպես քայքայիչգազ, թունավորգազ, դյուրավառգազ, այրվողգազ, իներտգազ, և այլն: Սովորաբար օգտագործվող կիսահաղորդչային գազերը դասակարգվում են հետևյալ կերպ.
(i) քայքայիչ / թունավորգազHCl, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, ՆՀ3, ՓՀ3, Կլ2, BCl3… և այլն:
(ii) դյուրավառությունգազ: Հ2, Չ4, ՍիՀ4, ՓՀ3, AsH3, SiH2Cl2, Բ2H6, CH2F2,Չ3F, CO… և այլն:
(iii) այրվողությունգազ:Օ2, Կլ2, Ն2O, NF3… և այլն:
(iv) Իներտգազ: Ն2, CF4, Ք2F6, Ք4F8,Ս.Ֆ6, CO2, Նե, Կր, Նա… և այլն:
Շատ կիսահաղորդչային գազեր վնասակար են մարդու մարմնի համար:Մասնավորապես, այդ գազերից մի քանիսը, ինչպիսիք են SiH4 ինքնաբուխ այրում, քանի դեռ արտահոսքը բուռն արձագանքում է օդի թթվածնի հետ և սկսում է այրվել.եւ ԱսՀ3խիստ թունավոր, ցանկացած աննշան արտահոսք կարող է առաջացնել մարդու կյանքի վտանգ, դա այս ակնհայտ վտանգների պատճառով է, ուստի համակարգի դիզայնի անվտանգության պահանջները հատկապես բարձր են:
Գազերի կիրառման շրջանակը
Որպես ժամանակակից արդյունաբերության կարևոր հիմնական հումք, գազային արտադրանքը լայնորեն օգտագործվում է, և մեծ թվով սովորական գազեր կամ հատուկ գազեր օգտագործվում են մետաղագործության, պողպատի, նավթի, քիմիական արդյունաբերության, մեքենաների, էլեկտրոնիկայի, ապակու, կերամիկայի, շինանյութերի, շինարարության մեջ: , սննդի վերամշակման, բժշկության և բժշկական ոլորտներում։Գազի կիրառումը կարևոր ազդեցություն ունի հատկապես այդ հանքավայրերի բարձր տեխնոլոգիաների վրա և հանդիսանում է դրա անփոխարինելի հումք գազը կամ պրոցեսորային գազը:Միայն տարբեր նոր արդյունաբերական ոլորտների և ժամանակակից գիտության և տեխնոլոգիաների կարիքների և խթանման դեպքում գազի արդյունաբերության արտադրանքը կարող է զարգանալ թռիչքներով և սահմաններով՝ բազմազանության, որակի և քանակի առումով:
Գազի կիրառում միկրոէլեկտրոնիկայի և կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ
Գազի օգտագործումը միշտ կարևոր դեր է խաղացել կիսահաղորդչային գործընթացում, հատկապես կիսահաղորդչային գործընթացը լայնորեն կիրառվում է տարբեր ոլորտներում՝ սկսած ավանդական ULSI-ից, TFT-LCD-ից մինչև ներկայիս միկրոէլեկտրո-մեխանիկական (MEMS) արդյունաբերությունը, բոլորը: որոնք օգտագործում են այսպես կոչված կիսահաղորդչային պրոցեսը որպես արտադրանքի արտադրության գործընթաց։Գազի մաքրությունը որոշիչ ազդեցություն ունի բաղադրիչների և արտադրանքի եկամտաբերության վրա, իսկ գազամատակարարման անվտանգությունը կապված է անձնակազմի առողջության և գործարանի աշխատանքի անվտանգության հետ:
Բարձր մաքրության խողովակաշարի նշանակությունը բարձր մաքրության գազի տրանսպորտում
Չժանգոտվող պողպատի հալման և նյութի պատրաստման գործընթացում մեկ տոննայի համար կարող է կլանվել մոտ 200 գ գազ:Չժանգոտվող պողպատի մշակումից հետո ոչ միայն դրա մակերեսը կպչուն է տարբեր աղտոտիչներով, այլ նաև մետաղական ցանցի մեջ նաև որոշակի քանակությամբ գազ է ներծծվել:Երբ խողովակաշարով օդի հոսք կա, մետաղը կլանում է գազի այս մասը, նորից կմտնի օդի հոսք՝ աղտոտելով մաքուր գազը:Երբ խողովակի մեջ օդի հոսքը ընդհատվում է, խողովակը կլանում է գազը ճնշման տակ, և երբ օդի հոսքը դադարում է անցնել, խողովակի կողմից կլանված գազը ձևավորում է ճնշման անկում՝ լուծելու համար, և լուծված գազը նույնպես մտնում է խողովակի մաքուր գազը: որպես կեղտեր:Միևնույն ժամանակ, կլանումը և լուծումը կրկնվում են, այնպես որ խողովակի ներքին մակերեսի մետաղը նույնպես արտադրում է որոշակի քանակությամբ փոշի, և այդ մետաղի փոշու մասնիկները նույնպես աղտոտում են խողովակի ներսում գտնվող մաքուր գազը:Խողովակի այս հատկանիշը էական նշանակություն ունի տեղափոխվող գազի մաքրությունն ապահովելու համար, որը պահանջում է ոչ միայն խողովակի ներքին մակերեսի շատ բարձր հարթություն, այլև մաշվածության բարձր դիմադրություն:
Երբ օգտագործվում է ուժեղ քայքայիչ հատկություններով գազ, խողովակաշարերի համար պետք է օգտագործվեն կոռոզիակայուն չժանգոտվող պողպատից խողովակներ:Հակառակ դեպքում, խողովակը կոռոզիայի հետևանքով կոռոզիոն բծեր կառաջացնի ներքին մակերևույթի վրա, իսկ լուրջ դեպքերում կլինի մետաղի շերտազատման կամ նույնիսկ ծակման մեծ տարածք, որը կաղտոտի բաշխվող մաքուր գազը:
Բարձր մաքրության և մաքրության բարձր հոսքի գազատարների միացում և բաշխում.
Սկզբունքորեն, դրանք բոլորը եռակցված են, և օգտագործվող խողովակները պետք է չունենան կառուցվածքի փոփոխություն եռակցման ժամանակ:Չափազանց բարձր ածխածնի պարունակությամբ նյութերը եռակցման ժամանակ ենթարկվում են եռակցված մասերի օդաթափանցելիությանը, ինչը հանգեցնում է գազերի փոխադարձ ներթափանցմանը խողովակի ներսում և դրսում և ոչնչացնում է փոխանցվող գազի մաքրությունը, չորությունը և մաքրությունը՝ հանգեցնելով կորստի: մեր բոլոր ջանքերը։
Ամփոփելով, բարձր մաքրության գազի և հատուկ գազի փոխանցման խողովակաշարի համար անհրաժեշտ է օգտագործել բարձր մաքրության չժանգոտվող պողպատից խողովակի հատուկ մշակում, բարձր մաքրության խողովակաշարերի համակարգ (ներառյալ խողովակներ, կցամասեր, փականներ, VMB, VMP) պատրաստելու համար: բարձր մաքրության գազի բաշխումը կենսական առաքելություն է զբաղեցնում.
Հաղորդման և բաշխման խողովակաշարերի մաքուր տեխնոլոգիայի ընդհանուր հայեցակարգ
Խողովակաշարով բարձր մաքուր և մաքուր գազի մարմնի փոխանցումը նշանակում է, որ կան որոշակի պահանջներ կամ հսկողություններ տեղափոխվող գազի երեք ասպեկտների համար:
Գազի մաքրություն. կեղտոտ մթնոլորտի պարունակությունը gԳազի մաքրություն. մթնոլորտի կեղտոտության պարունակությունը գազում, որը սովորաբար արտահայտվում է որպես գազի մաքրության տոկոս, օրինակ՝ 99,9999%, ինչպես նաև արտահայտված որպես կեղտոտ մթնոլորտի պարունակության ծավալային հարաբերակցություն ppm, ppb, ppt.
Չորություն. գազի հետքի խոնավության քանակությունը կամ թացություն կոչվող քանակությունը, որը սովորաբար արտահայտվում է ցողի կետով, օրինակ՝ մթնոլորտային ճնշման ցողի կետ -70:Գ.
Մաքրություն. գազում պարունակվող աղտոտող մասնիկների քանակը, մկմ մասնիկի չափը, քանի մասնիկ/M3 արտահայտել, սեղմված օդի համար, սովորաբար արտահայտվում է նաև անխուսափելի պինդ մնացորդների քանի մգ/մ3 չափով, որը ծածկում է նավթի պարունակությունը։ .
Աղտոտիչի չափերի դասակարգում. աղտոտող մասնիկները հիմնականում վերաբերում են խողովակաշարի մաքրմանը, մաշվածությանը, կոռոզիային, որը առաջանում է մետաղական մասնիկների, մթնոլորտային մուրի մասնիկների, ինչպես նաև միկրոօրգանիզմների, ֆագերի և խոնավություն պարունակող գազի խտացման կաթիլների և այլնի կողմից՝ ըստ դրա մասնիկների չափի: բաժանված է
ա) Խոշոր մասնիկներ – մասնիկների չափը 5 մկմ-ից բարձր
բ) Մասնիկ – նյութի տրամագիծը 0,1 մկմ-5 մկմ է
գ) Ուլտրա-միկրո մասնիկներ – մասնիկների չափը 0,1 մկմ-ից պակաս:
Այս տեխնոլոգիայի կիրառումը բարելավելու համար, որպեսզի կարողանանք ընկալել մասնիկների չափը և μm միավորները, հատկացվում է մասնիկների հատուկ կարգավիճակի մի շարք հղումների համար:
Հետևյալը կոնկրետ մասնիկների համեմատությունն է
| Անունը/մասնիկի չափը (մկմ) | Անունը/մասնիկի չափը (մկմ) | Անունը/ Մասնիկի չափը (մմ) |
| Վիրուս 0.003-0.0 | Աերոզոլ 0.03-1 | Աերոզոլացված միկրոկաթիլ 1-12 |
| Միջուկային վառելիք 0.01-0.1 | Ներկ 0.1-6 | Թռչող մոխիր 1-200 |
| Ածխածնի սև 0,01-0,3 | Կաթ փոշի 0.1-10 | Թունաքիմիկատ 5-10 |
| Խեժ 0.01-1 | Բակտերիաներ 0.3-30 | Ցեմենտ փոշի 5-100 |
| Ծխախոտի ծուխ 0.01-1 | Ավազի փոշի 0,5-5 | Pollen 10-15 |
| Սիլիկոն 0.02-0.1 | Թունաքիմիկատ 0.5-10 | Մարդու մազեր 50-120 |
| Բյուրեղացված աղ 0.03-0.5 | Խտացված ծծմբի փոշի 1-11 | Ծովի ավազ 100-1200 |
Հրապարակման ժամանակը՝ հունիս-14-2022