Ուլտրա-բարձր մաքրության գազերը անհրաժեշտ են կիսահաղորդչային մատակարարման ցանցում: Փաստորեն, բնորոշ FAB- ի համար բարձր մաքրության գազերը ինքնուրույն սիլիկոնից հետո ամենամեծ նյութական ծախսն են: Համաշխարհային չիպի պակասի պատճառով արդյունաբերությունն ընդլայնվում է ավելի արագ, քան երբեւէ, եւ բարձր մաքրության գազերի պահանջարկը մեծանում է:
Կիսահաղորդչային արտադրության մեջ ամենատարածված զանգվածային գազերը ազոտ, հելիում, ջրածնի եւ արգոն են:
Nitrogen
Ազոտը կազմում է մեր մթնոլորտի 78% -ը եւ ծայրաստիճան առատ է: Պատահում է նաեւ, որ քիմիապես իներտ եւ ոչ հաղորդիչ է: Արդյունքում, ազոտը իր ճանապարհը գտել է մի շարք արդյունաբերությունների, որպես ծախսարդյունավետ իներտ գազ:
Կիսահաղորդիչ արդյունաբերությունը ազոտի հիմնական սպառողն է: Ակնկալվում է, որ ժամանակակից կիսահաղորդչային արտադրության գործարան ժամում կօգտագործվի մինչեւ 50,000 խորանարդ մետր ազոտ: Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ ազոտը հանդես է գալիս որպես ընդհանուր նպատակ ունենալով ինլեքս եւ մաքրող գազ, պաշտպանելով զգայուն սիլիկոնային վաֆլինները ռեակտիվ թթվածնից եւ օդում խոնավությունից:
Հելիում
Helium- ը իներտ գազ է: Սա նշանակում է, որ, ինչպես ազոտը, հելիումը քիմիապես իներտ է, բայց այն ունի նաեւ բարձր ջերմային հաղորդունակության հավելյալ առավելություն: Սա հատկապես օգտակար է կիսահաղորդչային արտադրության մեջ, ինչը թույլ է տալիս դա արդյունավետորեն պահպանել ջերմությունը բարձր էներգիայի գործընթացներից եւ օգնել նրանց պաշտպանել ջերմային վնասներից եւ անցանկալի քիմիական ռեակցիաներից:
Ջրածին
Hyd րածինը լայնորեն օգտագործվում է էլեկտրոնիկայի արտադրության ընթացքում, եւ բացառություն չէ կիսահաղորդչային արտադրություն: Մասնավորապես, ջրածինը օգտագործվում է.
Օծողավորում. Սիլիկոնային վաֆլիները, որպես կանոն, ջեռուցվում են բարձր ջերմաստիճանների եւ դանդաղորեն սառչում են բյուրեղապակի կառուցվածքը վերականգնելու համար (օծանելիք): Hyd րածինը օգտագործվում է ջերմաստիճանը հավասարաչափ վաֆլի տեղափոխելու եւ բյուրեղյա կառուցվածքի վերականգնման գործում:
Epitaxy. Ուլտրա-բարձր մաքրության ջրածինը օգտագործվում է որպես սիլիկոնային եւ գերմանացու սիլիկոնային եւ գերմանական սիլիկոնային նյութերի էպիտտաժային տեղում:
Սահմանադրություն. Hyd րածինը կարող է դոպլիզացնել սիլիկոնային ֆիլմերում `իրենց ատոմային կառուցվածքը ավելի անկարգացնելու համար, օգնելով բարձրացնել դիմադրողականությունը:
Պլազմաքարի մաքրում. Hyd րածնի պլազմային հատկապես արդյունավետ է UV վիտրագրության մեջ օգտագործվող լույսի աղբյուրներից անագի աղտոտումը հեռացնելու մեջ:
Արգոն
Արգոնը եւս մեկ ազնիվ գազ է, ուստի այն ցուցադրում է նույն ցածր ռեակտիվությունը, որքան ազոտը եւ հելիումը: Այնուամենայնիվ, Արգոնի ցածր իոնացման էներգիան այն օգտակար է դարձնում կիսահաղորդչային ծրագրերում: Իոնացման իր հարաբերական հեշտության պատճառով Արգոնը սովորաբար օգտագործվում է որպես առաջնային պլազմային գազ, կիսահաղորդչային արտադրության մեջ: Դրանից բացի, Արգոնը օգտագործվում է նաեւ ուլտրամանուշակագույն վիմոգրաֆիայի համար Excimer լազերներում:
Ինչու մաքրությունը կարեւոր է
Սովորաբար, կիսահաղորդչային տեխնոլոգիայի առաջընթացը ձեռք է բերվել չափի մասշտաբի միջոցով, եւ կիսահաղորդչային տեխնոլոգիայի նոր սերունդը բնութագրվում է ավելի փոքր խաղարկային չափերով: Սա բերում է բազմաթիվ առավելություններ. Տվյալ ծավալի ավելի շատ տրանզիստեր, բարելավված հոսանքների, էլեկտրաէներգիայի սպառման եւ ավելի արագ անցման մեջ:
Այնուամենայնիվ, քանի որ կրիտիկական չափը նվազում է, կիսահաղորդչային սարքերը դառնում են ավելի ու ավելի բարդ: Մի աշխարհում, որտեղ առանձին ատոմների դիրքորոշումն է, մեղավոր հանդուրժողականության շեմերը շատ ամուր են: Արդյունքում, ժամանակակից կիսահաղորդչային գործընթացները պահանջում են գործընթացների գազեր `հնարավորինս բարձր մաքրությամբ:
WOFLY- ը բարձր տեխնոլոգիաների ձեռնարկություն է, որը մասնագիտանում է գազի կիրառման համակարգի ճարտարագիտության ոլորտում. Էլեկտրոնային հատուկ գազի համակարգ, գազի միացման համակարգի արդյունաբերական կենտրոնացված գազի մատակարարման համակարգ, տեխնիկական խորհրդատվություն, համակարգչային համակարգի ամբողջական հավաքածու, համակարգի կառուցում եւ շինանյութեր: ինտեգրված ձեւով համակարգի ընդհանուր փորձարկում, սպասարկում եւ այլ օժանդակ արտադրանքներ:
Փոստի ժամանակը, Հուլ -12-2023