Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ գազերի օգտագործումը սկսվում է 1950-ականների սկզբին մինչեւ 1960-ական թվականները: Կիսահաղորդչային արտադրության ընթացքում գազերը հիմնականում օգտագործվում են կիսահաղորդչային նյութեր մաքրելու եւ պաշտպանելու համար `դրանց մաքրությունն ու որակը ապահովելու համար: Ամենատարածված օգտագործված գազերի շարքում են ազոտը եւ ջրածինը:
Ինչպես զարգացած է կիսահաղորդչային տեխնոլոգիան, եւ արտադրական գործընթացները շարունակվել են բարելավել, գազերի պահանջարկն աճել է: 1970-ին կիսահաղորդչային արտադրության տեխնոլոգիայի հետագա զարգացում, հիմնական գործընթացներում գազերի կիրառումն աստիճանաբար աճում են, եւ ֆտորիդային գազերը (օրինակ, SF6) եւ թթվածն են օգտագործում: 1980-ին տեսել է ինտեգրված սխեմաների մշակմամբ գազերի պահանջարկի հետագա աճը եւ դրանց պահանջարկի աճը: Hyd րածինը լայնորեն կիրառվում էր արտադրական գործընթացում, ներառյալ ջրածնի օձի եւ ջրածնի գոլորշիների տեղակայումը: Եվ 1990 թվականից առ այսօր բարձր մաքրության գազերի եւ հատուկ գազերի պահանջարկն աճել է, քանի որ կիսահաղորդչային սարքի չափերը շարունակվել են նեղանալ, եւ ներդրվել են նոր գործընթացներ: Օրինակ, ծայրահեղ ուլտրամանուշակագույն լիտոգրաֆիայի (EUV) կիրառումը պահանջում է չափազանց բարձր մաքրության գազերի օգտագործում, ինչպիսիք են ազոտը եւ ջրածինը:
Կիսահաղորդչային գազը շարունակում է աճել ավելի ու ավելի շատ արտադրանքների կողմից հարակից արտադրանքների մշակմամբ, մինչդեռ գազը նույնպես պատկանում է վտանգի աղբյուրին, այնպես որ ճնշման կարգավորիչները, գազի արտահոսքի չափիչները եւ դրանց դերերը նույնպես հետեւյալն են.
Press նշման կարգավորիչներ. Press նշման կարգավորիչները սարքեր են, որոնք օգտագործվում են գազի ճնշումը վերահսկելու համար: Դրանք սովորաբար բաղկացած են կարգավորիչ փականից եւ ճնշման ցուցիչից: Press նշման կարգավորիչները բարձր ճնշման գազի մուտք են գործում եւ կայունացնում են ելքային գազի ճնշումը `կարգավորելով փականը` դիմումի հատուկ պահանջները բավարարելու համար: Press նշման կարգավորիչները լայնորեն օգտագործվում են այնպիսի ոլորտներում, ինչպիսիք են արդյունաբերությունը, արտադրությունը եւ լաբորատորիաները, ինչպես նաեւ կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ, ի թիվս այլոց, գազի մատակարարման կայունությունն ու անվտանգությունն ապահովելու համար:
Գազի փականներ. Գազի փականները օգտագործվում են գազերի հոսքը վերահսկելու եւ գազի անցումները փակելու համար: Նրանք սովորաբար ունենում են միացված / անջատիչ գործառույթ, որը բացում կամ փակում է գազի հոսքը: Գոյություն ունեն գազի փականների տարբեր տեսակներ, ներառյալ ձեռքով փականներ, էլեկտրական փականներ եւ օդաճնշական փականներ: Դրանք լայնորեն օգտագործվում են գազերի հոսքը, ճնշումը եւ հոսքի արագությունը վերահսկելու համար:
Գազի ճնշման ջրաչափեր. Գազի ճնշման ջրաչափերը օգտագործվում են գազի ճնշման մակարդակը չափելու համար: Դրանք սովորաբար տեղադրվում են գազի համակարգերի կրիտիկական վայրերում, ճնշման փոփոխությունները դիտարկելու եւ ապահովելու համար, որ դրանք ապահով են: Գազի ճնշման ջրաչափերը լայնորեն օգտագործվում են արդյունաբերության, արտադրության եւ լաբորատորիաներում, եւ ներգրավվել է նաեւ կիսահաղորդչային արդյունաբերությունը:
Գազի արտահոսքի դետեկտորներ. Գազի արտահոսքի դետեկտորները օգտագործվում են գազի համակարգերում արտահոսք հայտնաբերելու համար: Նրանք հայտնաբերում ենԳազի արտահոսքի առկայությունը եւ ահազանգը հնչեցնում է, որպեսզի ժամանակին գործողություն ձեռնարկվի, արտահոսքի վթարները կանխելու համար: Գազի արտահոսքի դետեկտորները լայնորեն օգտագործվում են արդյունաբերական, քիմիական, նավթի եւ գազի դիմումներում, եւ ներգրավվել է նաեւ կիսահաղորդչային արդյունաբերությունը:
Փոստ -20-2024