Պոչի գազի մաքրման սարքավորումները կարող են կարգավորել ներկառուցված գործընթացներում օգտագործված գազեր, որոնք օգտագործվում են կիսահաղորդչային, հեղուկ բյուրեղի եւ արեւային էներգիայի արդյունաբերության մեջ, ներառյալ SIH4, SIH2CL2, PH2, CO2, C2F6, SF6, N2O եւ այլն:
Արտանետվող գազի մաքրման մեթոդ
Զեղջ գազի բուժման բնութագրերի համաձայն, բուժումը կարելի է բաժանել բուժման չորս տեսակի.
1. Water րի լվացման տեսակը (քայքայիչ գազերի բուժում)
2-ը. Օքսիդացնող տեսակը (գործ ունենալով այրվող եւ թունավոր գազերով)
3. Adsorption (ըստ adsorption նյութի տեսակի `համապատասխան արտանետվող գազի հետ):
4.Plasma այրման տեսակը (արտանետվող գազերի բոլոր տեսակները կարելի է բուժել):
Բուժման յուրաքանչյուր տեսակ ունի իր առավելություններն ու թերությունները, ինչպես նաեւ դրա կիրառման շրջանակը: Երբ բուժման մեթոդը ջրի լվացումն է, սարքավորումները էժան եւ պարզ են եւ կարող են միայն ջրի լուծվող գազեր լուծել. Էլեկտրական ջրի լվացման տիպի դիմումի տեսականին ավելի բարձր է, քան ջրի լվացման տեսակը, բայց գործողության արժեքը բարձր է. Չոր տեսակը ունի բուժման լավ արդյունավետություն եւ կիրառելի չէ գազի հոսքի համար, որը հեշտ է խցանվել կամ հոսել:
Քիմիական նյութերը եւ դրանց ենթամթերքները, որոնք սովորաբար օգտագործվում են կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ, կարող են դասակարգվել ըստ իրենց քիմիական հատկությունների եւ դրանց տարբեր տողերի.
1. Դյուրավառ գազեր, ինչպիսիք են SIH4H2- ը եւ այլն:
2-ը: Թունավոր գազեր, ինչպիսիք են ASH3- ը, PH3- ը եւ այլն:
3. Կոռոսակտիվ գազեր, ինչպիսիք են HF, HCl եւ այլն:
4. Green երմոցային գազեր, ինչպիսիք են CF4, NF3 եւ այլն:
Քանի որ վերը նշված չորս գազերը վնասակար են շրջակա միջավայրի կամ մարդու մարմնի համար, պետք է կանխեն դրա անմիջական արտանետումը մթնոլորտային, այնպես որ ընդհանուր կիսահաղորդչային բաճկոնով տեղադրված է լայնածավալ ջրի մեջ գտնվող գազերով: Հետեւաբար, անհրաժեշտ է ընտրել եւ համադրել համապատասխան արտանետվող գազի մաքրման սարքավորումները `համաձայն յուրաքանչյուր գործընթացից ստացված գազի բնութագրերի, որպեսզի փոքր եղանակով լուծեն արտանետվող գազի խնդիրը: Քանի որ աշխատանքային տարածքը հիմնականում հեռու է կենտրոնական արտանետվող գազի մաքրման համակարգից, հաճախ գազի բնութագրերով հանգեցնում է խողովակաշարի բյուրեղացման կամ փոշու կուտակման, ինչը հանգեցնում է գազի արտահոսքի տանող խողովակաշարի, եւ լուրջ դեպքերում չի կարող ապահովել կայքի աշխատակազմի աշխատանքի անվտանգությունը: Հետեւաբար, աշխատանքային ոլորտում անհրաժեշտ է կարգավորել փոքր արտանետվող գազի մաքրման սարքավորումներ, որոնք հարմար են գործընթացի գազի բնութագրերի համար, աշխատանքային տարածքում լճացած արտանետվող գազը նվազեցնելու համար:
Փոստի ժամանակ: Օգոստոս-10-2023